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![]() 高性能MEMS压力传感器拓扑优化研究与仿真分析
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期刊:Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems 作者:Xiaohui Guo; Shuang Shao; Bing Hu; Yan Xu; Xingchen Huang; et al 出版日期:2024-02-01 |
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