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Topology optimization research and simulation analysis of high-performance MEMS pressure sensor

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作者
Xiaohui Guo,Shuang Shao,Bing Hu,Yan Xu,Xingchen Huang,Weiqiang Hong,Zihao Yan,Jianwei He,Yuanyuan Gao,Huishan Zhang,Yanjun Song,Tai Song,Yun Xia,Yaohua Xu
出处
期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2024-02-01 卷期号：30 (2): 231-241 被引量：2
标识
DOI：10.1007/s00542-023-05601-y
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