Mid-spatial frequency error characteristics induced by tool influence function in bonnet polishing

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标题	Mid-spatial frequency error characteristics induced by tool influence function in bonnet polishing
网址	https://doi.org/10.1364/ao.566380
DOI	10.1364/ao.566380 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Lirong Peng; Yiren Wang; Longxiang Li; Fenghua Shi; Zhongyang Lu; et al 出版日期：2025-08-29
求助人	勿念在 2026-07-05 13:36:11 发布自中国，悬赏 10 积分
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