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标题
Evaluation of tribologically-induced subsurface damages in monocrystalline silicon wafers using selective etching
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.triboint.2026.111940
DOI
10.1016/j.triboint.2026.111940 doi
其它 期刊：Tribology International
作者：Jian Gao; Huaicheng Zhou; Jin Li; Lei Wu; Linmao Qian; et al
出版日期：2026-08-01
求助人
xixi 在 2026-08-09 21:10:33 发布自四川，悬赏 10 积分
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  • 6小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    21:10:38 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
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  • 6小时前

    xixi xixi Lv1 求助人 发起了本次求助

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