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标题
Investigation of dual-frequency effect on the ion energy and flux in Torr-regime plasma by a two-dimensional GPU-PIC simulation
网址
DOI
10.1088/1361-6595/ac0a4c doi
其它 期刊:Plasma Sources Science and Technology
作者:Chang Ho Kim; Jin Seok Kim; Min Hur; Yukinori Sakiyama; Hae June Lee
出版日期:2021-06-10
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