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Triple Synergism Effect of Ammonium Nitrilotriacetate on the Chemical Mechanical Polishing Performance of Ruthenium Barrier Layers
腈基三乙酸铵对钌阻隔层化学机械抛光性能的三重协同效应
相关领域
钌
化学机械平面化
化学
溶解
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化学工程
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其它 |
期刊:Small 作者:Ziwei He; Jianwei Zhou; Yuhang Qi; Chen Luo; Chenwei Wang; et al 出版日期:2024-01-21 |
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