Theoretical and experimental investigation of vibration-assisted scratching silicon - 科研通

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标题	Theoretical and experimental investigation of vibration-assisted scratching silicon 振动辅助刮擦硅的理论与实验研究相关领域刮伤材料科学振动硅复合材料声学光电子学物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108420
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108420 doi
其它	期刊：Materials science in semiconductor processing 作者：W. S. Wang; Guanghui Zhao; Yanling Tian; Zhilai Lu; Hui Tang; et al 出版日期：2024-08-01
求助人	zhengke924 在 2024-04-18 17:09:54 发布自广东，悬赏 10 积分
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