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标题
Simulation Study on Different Integration Schemes to Form Single Diffusion Break
不同积分方案形成单个扩散断裂的仿真研究
相关领域
覆盖 制作 缩放比例 扩散 临界尺寸 多重图案 堆栈(抽象数据类型) 计算机科学 过程(计算) 维数(图论) 纵横比(航空) 工程物理 炸薯条 材料科学 电子工程 光电子学 纳米技术 工程类 抵抗 物理 电信 图层(电子) 光学 病理 操作系统 热力学 医学 程序设计语言 纯数学 替代医学 数学 几何学
网址
DOI
10.1109/cstic55103.2022.9856757 doi
其它 期刊:
作者:Pengfei Lyu; Jikun Huang; Minxiang Wang; Tianhao Zhang; Qingpeng Wang; et al
出版日期:2022-06-20
求助人
fyt723175249 在 2024-09-04 13:32:16 发布自浙江,悬赏 10 积分
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