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 Methods for Thickness Determination of SiC Homoepilayers by Using Infrared Reflectance Spectroscopy 用红外反射光谱法测定SiC同质外延层厚度的方法
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期刊：Chinese Physics Letters 作者：LI Zhi-yun; Sun Ji-Wei; Yuming Zhang; Yimen Zhang; Xiao-Yan Tang 出版日期：2010-06-01 |
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