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 Design and Analysis of MEMS Pressure Sensor based on various principles of Microcantilever beam 基于微悬臂梁各种原理的MEMS压力传感器设计与分析
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期刊：IEEE Transactions on NanoBioscience 作者：G Sai Lakshmai; K. Srinivasa Rao; K. Girija Sravani 出版日期：2023-01-01 |
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