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Silicon nitride shadowed selective area growth of low defect density vertical GaN mesas via plasma-assisted molecular beam epitaxy 等离子体辅助分子束外延氮化硅阴影选择性区域生长低缺陷密度垂直GaN台面
相关领域
材料科学
分子束外延
等离子体
氮化物
光电子学
硅
宽禁带半导体
氮化硅
氮化镓
外延
纳米技术
图层(电子)
量子力学
物理
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期刊:APL Materials 作者:Matthew Landi; Frank P. Kelly; Riley E. Vesto; Kyekyoon Kim 出版日期:2024-10-01 |
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