A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers

已完结

文献求助详情

标题	A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers MEMS硅谐振加速度计研究进展相关领域加速度计谐振器微电子机械系统加速度灵敏度（控制系统）硅电子工程计算机科学工程类电气工程材料科学光电子学物理操作系统经典力学
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2024.3354235
DOI	10.1109/jmems.2024.3354235 doi
其它	期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Zhao Zhang; Hemin Zhang; Yongcun Hao; Honglong Chang 出版日期：2024-01-26
求助人	Arrebol 在 2025-11-11 15:02:45 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 香蕉觅云上传了应助文件

1秒前; comm关注了科研通微信公众号

1秒前; 天天快乐的应助被颜老大采纳，获得10

1秒前; 小二郎上传了应助文件

2秒前; 一只酸牛牛完成签到，获得积分20

2秒前; 夜夏关闭了夜夏的文献求助

3秒前; 小菜鸟加油加油完成签到，获得积分10

3秒前; xxfsx上传了应助文件

4秒前; 善良的人发布了新的文献求助10

4秒前; 章鱼哥驳回了FashionBoy的应助

4秒前; smin发布了新的文献求助10

5秒前; 乐乐的应助被Sinner采纳，获得10

5秒前; 科研通AI6上传了应助文件

6秒前; HMMXC完成签到，获得积分10

6秒前; zyxxxx完成签到，获得积分10

6秒前; 科研通AI6的应助被塔莉娅采纳，获得10

7秒前; 噜噜噜发布了新的文献求助10

7秒前; 小马甲的应助被可爱的日记本采纳，获得10

7秒前; 解语花发布了新的文献求助80

7秒前; 天天快乐上传了应助文件

7秒前; JamesPei上传了应助文件

8秒前; Allen发布了新的文献求助10

9秒前; 称心语风完成签到，获得积分10

9秒前; talitha的应助被tong采纳，获得50

10秒前; 斯文败类的应助被zhongli采纳，获得10

10秒前; 汉堡包的应助被敏感沛春采纳，获得10

10秒前; Zzhn完成签到，获得积分10

10秒前; 可爱的函函的应助被junlin采纳，获得10

10秒前; 科研通AI6上传了应助文件

11秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

11秒前; shadow完成签到，获得积分10

12秒前; 科研通AI5上传了应助文件

12秒前; 可爱的函函上传了应助文件

12秒前; yyc完成签到，获得积分10

12秒前; MXX发布了新的文献求助10

13秒前; King完成签到，获得积分10

13秒前; dongzhiwei456关注了科研通微信公众号

13秒前; Hello上传了应助文件

13秒前; 隐形曼青上传了应助文件

13秒前; 颜老大发布了新的文献求助10

14秒前