Lithographic micropatterning on the β‐PVDF film using reactive ion etching aim for high‐resolution skin sensors - 科研通

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标题	Lithographic micropatterning on the β‐PVDF film using reactive ion etching aim for high‐resolution skin sensors 使用反应离子蚀刻在β-PVDF膜上进行光刻微图案化，用于高分辨率皮肤传感器相关领域反应离子刻蚀洁净室材料科学微图形化蚀刻（微加工）平版印刷术光刻纳米技术聚偏氟乙烯干法蚀刻压电光电子学分析化学（期刊）复合材料化学色谱法聚合物图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1002/tee.22978
DOI	10.1002/tee.22978 doi
其它	期刊：IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 作者：Hirofumi Miki; Ryota Sugii; Yutoku Kawabata; Shigeki Tsuchitani 出版日期：2019-07-21
求助人	善良安蕾在 2025-07-21 16:06:46 发布自安徽，悬赏 10 积分
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