Surface profile measurement and parameter analysis of silicon wafers in the upright state

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标题	Surface profile measurement and parameter analysis of silicon wafers in the upright state 直立状态下硅片表面轮廓测量及参数分析相关领域薄脆饼失真（音乐）干涉测量硅光学材料科学曲面（拓扑）一致性（知识库）计算机科学样品（材料）航程（航空）光电子学人工智能物理数学放大器几何学 CMOS芯片复合材料热力学
网址	https://doi.org/10.1364/ao.515440
DOI	10.1364/ao.515440 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Ying Yang; Sen Han; Linghua Zhang; Yuhang Shen; Chunfeng Xu 出版日期：2024-03-07
求助人	Song 在 2025-07-23 09:15:08 发布自吉林，悬赏 10 积分
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