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 Comparative study of ITO layers deposited by DC and RF magnetron sputtering at room temperature 相关领域
溅射
溅射沉积
材料科学
无定形固体
高功率脉冲磁控溅射
分析化学（期刊）
沉积（地质）
腔磁控管
射频功率放大器
光电子学
薄膜
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生物
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放大器
沉积物
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期刊：Journal of Non-crystalline Solids 作者：F. Kurdesau; Г.С. Хрипунов; A.F. da Cunha; M. Kaelin; Ayodhya N. Tiwari 出版日期：2006-03-21 |
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