Comparative study of ITO layers deposited by DC and RF magnetron sputtering at room temperature

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作者
F. Kurdesau,Г.С. Хрипунов,A.F. da Cunha,M. Kaelin,Ayodhya N. Tiwari
出处
期刊:Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier BV]
卷期号:352 (9-20): 1466-1470 被引量:178
标识
DOI:10.1016/j.jnoncrysol.2005.11.088
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