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 Accurate and efficient 3D analytic ion implantation model based on Legendre polynomials 基于Legendre多项式的精确高效的三维解析离子注入模型
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Arsen Terterian; Nikolas Zographos; Shiyang Tian; Christoph Zechner; Tommaso Cilento 出版日期：2023-11-02 |
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