Electrochemical trench etching of silicon triggered via mechanical nanocontacts

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标题	Electrochemical trench etching of silicon triggered via mechanical nanocontacts 机械纳米触点触发的硅电化学沟槽刻蚀相关领域沟槽蚀刻（微加工）薄脆饼材料科学大孔隙成核硅电化学基质（水族馆）复合材料阳极氧化纳米技术化学工程光电子学化学电极图层（电子）地质学催化作用物理化学有机化学工程类铝海洋学介孔材料生物化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.electacta.2007.07.045
DOI	10.1016/j.electacta.2007.07.045 doi
其它	期刊：Electrochimica Acta 作者：R. Gassilloud; Patrik Schmuki; Johann Michler 出版日期：2007-07-31
求助人	w_ 在 2025-08-29 11:45:41 发布自广东，悬赏 10 积分
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