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 High-Pressure Deuterium Annealing for Trap Passivation for a 3-D Integrated Structure 相关领域
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Jung-Woo Lee; Joon‐Kyu Han; Dong-Hyun Wang; Seong‐Yun Yun; Jeong-Seob Oh; et al 出版日期：2024-03-08 |
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