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 Modeling of 6H-SiC Wafer Heating during RTP by Incoherent Radiation 相关领域
薄脆饼
材料科学
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光学
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物理
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期刊：Journal of Materials Processing & Manufacturing Science 作者：O.A. Agueev; ER M. SVETLICHNY 出版日期：1999-01-01 |
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