Hybrid simulation of the bias effect on inductively coupled C 4 F 8 /Ar plasmas

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标题	Hybrid simulation of the bias effect on inductively coupled C 4 F 8 /Ar plasmas
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/ae63dc
DOI	10.1088/1361-6463/ae63dc doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：Na Li; Chang Lu; Ming-Liang Zhao; Yu-Ru Zhang; You-Nian Wang 出版日期：2026-05-08
求助人	yetty 在 2026-11-02 23:58:49 发布自德国，悬赏 10 积分
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