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标题
AlN epitaxy on SiC by low-temperature atomic layer deposition via layer-by-layer, in situ atomic layer annealing
网址
https://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2019/ra/c9ra00008...
DOI
10.1039/c9ra00008a doi
其它 期刊：RSC Advances
作者：W. Kao; Wei-Hao Lee; Sheng-Han Yi; Tsung-Han Shen; Hsin-Chih Lin; et al
出版日期：2019-04-17
求助人
小HIN 在 2026-10-07 00:47:55 发布自上海，悬赏 10 积分
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    科研通AI6.2 科研通AI6.2 机器人Lv12 上传了文件

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  • 2小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    00:48:00 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    00:47:57 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
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  • 2小时前

    小HIN 小HIN Lv5 求助人 发起了本次求助

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