Behavior and effects of fluorine in annealed n+ polycrystalline silicon layers on silicon wafers

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标题	Behavior and effects of fluorine in annealed n+ polycrystalline silicon layers on silicon wafers
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.373023
DOI	10.1063/1.373023 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：C. D. Marsh; N. E. Moiseiwitsch; G. R. Booker; P. Ashburn 出版日期：2000-05-15
求助人	小鱼儿在 2026-10-22 15:21:35 发布自湖北，悬赏 10 积分
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