High rate growth of nanocrystalline diamond films using high microwave power and pure nitrogen/methane/hydrogen plasma

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标题	High rate growth of nanocrystalline diamond films using high microwave power and pure nitrogen/methane/hydrogen plasma
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.03.021
DOI	10.1016/j.vacuum.2015.03.021 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：C.J. Tang; A.J.S. Fernandes; Marco Granada; J.P. Leitão; S. Pereira; et al 出版日期：2015-12-01
求助人	缘起在 2026-10-31 21:25:43 发布自湖南，悬赏 10 积分
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