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Physical feature exploration of nanocrystalline FeSi2 surface with argon plasma etching under varying power 相关领域
接触角
材料科学
纳米晶材料
蚀刻(微加工)
X射线光电子能谱
表面粗糙度
薄脆饼
等离子体刻蚀
分析化学(期刊)
润湿
微晶
表面光洁度
氩
溅射
薄膜
图层(电子)
化学工程
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化学
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工程类
有机化学
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期刊:Vacuum 作者:Nattakorn Borwornpornmetee; Phongsaphak Sittimart; Rungrueang Phatthanakun; Hideki Nakajima; Boonchoat Paosawatyanyong; et al 出版日期:2023-09-09 |
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