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标题
Thermal stability and structural characteristics of HfO2 films on Si (100) grown by atomic layer deposition. Applied Physics Letters
HfO2薄膜的热稳定性和结构特性。
网址
https://doi.org/10.1063/1.1491000
DOI
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求助人
勤奋的鸡翅 在 2025-12-17 16:16:34 发布自韩国，悬赏 10 积分
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