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 Impact of Direct Plasma Densification on Resistivity and Conformality of PEALD Tantalum Nitride 相关领域
氮化钽
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期刊：ECS transactions 作者：O. van der Straten; Xingxing Zhang; Christopher J. Penny; J. Maniscalco; S. Chiang; et al 出版日期：2013-03-15 |
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