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标题
Suppression of charges within an Al 2 O 3 high- κ dielectric and reduction of interface traps at the cryogenic temperature of a Ge n-MOS capacitor fabricated by plasma postoxidation and forming gas annealing
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DOI
10.1088/1361-6641/ae0515 doi
其它 期刊:Semiconductor Science and Technology
作者:Yunfei Liu; Dechen Wang; Luhang Song; Jiankun Li; Tian Pei; et al
出版日期:2025-09-10
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