Investigation of stray light characteristic by multiple Gaussian modeling and its OPC application

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标题	Investigation of stray light characteristic by multiple Gaussian modeling and its OPC application 相关领域高斯分布光学物理高斯函数计算机科学
网址	https://doi.org/10.1117/12.533373
DOI	10.1117/12.533373 doi
其它	期刊：Optical Microlithography XVII 作者：Bruce W. Smith; Ho-Chul Kim; Dong-Seok Nam; Gi-Sung Yeo; Suk-Joo Lee; et al 出版日期：2004
求助人	always 在 2022-04-17 10:41:32 发布，悬赏 10 积分
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