Charge Utilization Efficiency and Side Reactions in the Electrochemical Mechanical Polishing of 4H-SiC (0001)

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标题	[高分] Charge Utilization Efficiency and Side Reactions in the Electrochemical Mechanical Polishing of 4H-SiC (0001) 相关领域抛光薄脆饼阳极材料科学电化学碳化硅阳极氧化化学机械平面化电流密度化学工程复合材料冶金光电子学化学电极物理化学铝物理量子力学工程类
网址	https://doi.org/10.1149/1945-7111/ac4b1f
DOI	10.1149/1945-7111/ac4b1f doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Xiaozhe Yang; Xu Yang; Haiyang Gu; Kentaro Kawai; Kenta Arima; Kazuya Yamamura 出版日期：2022
求助人	宇文煜祺在 2022-03-04 14:50:18 发布，悬赏 100 积分
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