Various evolution trends of sample thickness in fluorocarbon film deposition on SiO2

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标题	Various evolution trends of sample thickness in fluorocarbon film deposition on SiO2 相关领域沉积（地质）钝化蚀刻（微加工）氟碳化合物材料科学图层（电子）半导体原子层沉积等离子体光电子学纳米技术复合材料量子力学生物沉积物物理古生物学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001466
DOI	10.1116/6.0001466 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Youngseok Lee; In-ho Seong; Jang Gyu Lee; Sang-Ho Lee; Chulhee Cho; et al 出版日期：2022-01-01
求助人	123 在 2023-03-30 19:37:26 发布，悬赏 10 积分
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