| 标题 |
 Marangoni effect-based under-layer for a Dual Damascene via-first approach: a scalable solution to the unwanted photoresist swing effect 相关领域
材料科学
抵抗
光刻胶
图层（电子）
光电子学
马朗戈尼效应
缓冲器（光纤）
平版印刷术
铜互连
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| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.2551864
doi
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| 其它 |
期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XXXVII 作者：Valentina Dall'Asta; Emma Litterio; Nicoletta Corneo; Jakub Koza; Jonathan Jeauneau; et al 出版日期：2020 |
| 求助人 | |
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