Batch fabrication of polymer microsystems with shape memory microactuators

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标题	Batch fabrication of polymer microsystems with shape memory microactuators 相关领域材料科学制作微系统微电子机械系统执行机构微执行器聚合物微加工纳米技术形状记忆合金光电子学
网址	https://doi.org/10.1109/memsys.2008.4443683
DOI	10.1109/memsys.2008.4443683 doi
其它	期刊：Proceedings, IEEE micro electro mechanical systems 作者：T. Grund; T. Cuntz; M. Kohl 出版日期：2008-01-28
求助人	赖雅绿在 2022-07-28 01:23:31 发布自安徽，悬赏 10 积分
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