| 标题 |
 Etch Characteristics of Copper Thin Films in Inductively Coupled Plasma of Piperidine/Ethanol/Ar Gas Mixture 相关领域
材料科学
铜
分析化学（期刊）
感应耦合等离子体
等离子体
X射线光电子能谱
化学工程
薄膜
等离子体原子发射光谱
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| DOI | |
| 其它 |
期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Eun Taek Lim; Ji Soo Lee; Sung Yong Park; Chee Won Chung 出版日期：2021 |
| 求助人 |
坐井观天的蛙 在
2022-03-23 13:04:22 发布，悬赏 10 积分
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