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  Optimization of Fabrication Process for SiON/SiOx Films Applicable as Optical Waveguides 用于光波导的SiN/SiOx薄膜制备工艺优化
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期刊：THE Coatings 作者：Ľuboš Podlucký; Andrej Vincze; Soňa Kováčová; Juraj Chlpík; Jaroslav Kováč; et al 出版日期：2021-05-15 |
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