Novel approach of virtual etch target (VET) for efficient litho-to-etch pattern fidelity correction - 科研通

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标题	Novel approach of virtual etch target (VET) for efficient litho-to-etch pattern fidelity correction
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2612298
DOI	10.1117/12.2612298 doi
其它	期刊：DTCO and Computational Patterning 作者：Shr-Jia Chen; Yi-Shiang Chang; Chia-Chi Lin; Jun-Cheng Lai 出版日期：2022-05-26
求助人	selmabo 在 2026-08-07 16:35:19 发布自浙江，悬赏 20 积分
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