Effect of polishing pad hardness on scratch removal efficiency of fused silica in chemical mechanical polishing

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标题	Effect of polishing pad hardness on scratch removal efficiency of fused silica in chemical mechanical polishing
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2026.01.163
DOI	10.1016/j.jmrt.2026.01.163 doi
其它	期刊：Journal of materials research and technology 作者：Yongjie Li; Longxiang Li; Hongda Wei; Xingchang Li; Xuejun Zhang 出版日期：2026-01-23
求助人	周梦蝶在 2026-09-15 14:38:59 发布自浙江，悬赏 10 积分
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