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Study on the Deposition Characteristics of Molybdenum Thin Films Deposited by the Thermal Atomic Layer Deposition Method Using MoO2Cl2 as a Precursor |
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期刊:Coatings 作者:Baek-Ju Lee; Kyu-Beom Lee; Min-ho Cheon; Dongwon Seo; Jae-Wook Choi 出版日期:2023-06-09 |
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(2025-6-4)