| 标题 |
SF6 mixed in N2 gas sensing responses from CMOS-compatible AlN and ScAlN pyroelectric detectors |
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| DOI |
10.1117/12.3002138
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| 其它 |
期刊:MOEMS and Miniaturized Systems XXIII 作者:Doris K. T. Ng; Weiguo Chen; Linfang Xu; Harmony J. E. Lau; Landobasa Tobing; et al 出版日期:2024-03-13 |
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(2025-6-4)