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Fabrication of high-aspect-ratio stepped Cu microcolumn array using UV-LIGA technology
UV-LIGA技术制备大展弦比阶梯铜微柱阵列
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期刊:Microsystem Technologies 作者:Liqun Du; Baozong Yuan; Bingjiang Guo; Shuai Wang; Xin Cai 出版日期:2023-06-17 |
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