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 Selective chemical wet etching of Si1-xGex versus Si in single-layer and multi-layer with HNO3/HF mixtures HNO3/HF混合液对单层和多层Si1-xGex与Si的选择性化学湿法刻蚀
相关领域
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期刊：Thin Solid Films 作者：Yongjoon Choi; Hyunchul Jang; Dae seop Byun; Dae Hong Ko 出版日期：2020-09-01 |
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