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Improvement of electrical characteristics and stability of IGZO TFT through surface single crystallization of IGZO film at room temperature 室温下IGZO薄膜表面单晶化改善IGZO TFT的电学特性和稳定性
相关领域
薄膜晶体管
材料科学
无定形固体
结晶
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光电子学
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晶体管
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结晶学
化学
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有机化学
工程类
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期刊:Semiconductor Science and Technology 作者:He Zhang; Yaogong Wang; Xiaoning Zhang; Chunliang Liu 出版日期:2018-06-25 |
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