Fabrication of TiZrNbTaFeN high-entropy alloys coatings by HiPIMS: Effect of nitrogen flow rate on the microstructural development, mechanical and tribological performance, electrical properties and corrosion characteristics

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标题	Fabrication of TiZrNbTaFeN high-entropy alloys coatings by HiPIMS: Effect of nitrogen flow rate on the microstructural development, mechanical and tribological performance, electrical properties and corrosion characteristics 用HiPIMS制备TiZrNbTaFeN高熵合金涂层：氮气流量对组织发展、力学和摩擦学性能、电学性能和腐蚀特性的影响相关领域材料科学高功率脉冲磁控溅射涂层结晶度微观结构合金氮化物溅射沉积无定形固体复合材料腐蚀冶金溅射薄膜纳米技术结晶学化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2021.159605
DOI	10.1016/j.jallcom.2021.159605 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Sameer Kamrudin Bachani; Chaur-Jeng Wang; Bih-Show Lou; Li-Chun Chang; Jyh‐Wei Lee 出版日期：2021-03-23
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