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 The effect of hydrogen species on the electronic properties of nc-Si:H prepared in a triode PECVD system 氢物种对三极管PECVD制备nc-Si：H电子性能的影响
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期刊：Journal of Non-Crystalline Solids 作者：Kunji Chen; Hua Qin; Xinfan Huang; Kazuyuki Ikuta; Akihisa Matsuda; et al 出版日期：1996-05-01 |
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