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 Synthesis of a PCST-containing acrylic polymers and its application in negative-tone photoresist 含PCST丙烯酸树脂的合成及其在负色调光刻胶中的应用
相关领域
光刻胶
材料科学
抵抗
丙烯酸酯
聚合物
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光刻
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化学工程
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光学
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| 其它 |
期刊：Materials Letters 作者：Jintong Li; Tianzhao Wu; Jinshun Zhao; Huimin Xue 出版日期：2023-05-04 |
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