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标题
On direct-current magnetron sputtering at industrial conditions with high ionization fraction of sputtered species
工业条件下高电离率直流磁控溅射
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网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.131028
DOI
10.1016/j.surfcoat.2024.131028 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Jaroslav Hnilica; Peter Klein; M. Učík; Stanislava Debnárová; J. Klusoň; et al
出版日期：2024-06-19
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小鸡学习 在 2025-07-03 06:42:42 发布，悬赏 10 积分
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