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Evidence and understanding of ALD HfO/sub 2/-Al/sub 2/O/sub 3/ laminate MIM capacitors outperforming sandwich counterparts |
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Shi J. Ding; Hang Hu; Chun-Xiang Zhu; M.-F. Li; Sung-Dae Kim; et al 出版日期:2004-09-27 |
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