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标题
Human–machine collaboration for improving semiconductor process development
网址
https://doi.org/10.1038/s41586-023-05773-7
DOI
10.1038/s41586-023-05773-7 doi
其它 期刊：Nature
作者：Keren J. Kanarik; Wojciech T. Osowiecki; Yu Lu; D. Talukder; Niklas Roschewsky; et al
出版日期：2023-03-08
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