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标题
Atomic-scale mechanisms of carbon-rich nanoprotrusion formation and selective removal on SiC under fluorine plasma irradiation
相关领域
材料科学 辐照 抛光 X射线光电子能谱 碳化硅 薄脆饼 无定形固体 分析化学（期刊） 图层（电子） 解吸 机械加工 通量 表面粗糙度 化学工程 硅 无定形碳 等离子体 表层 碳化物 复合材料 氟 激光烧蚀 碳纤维 表面光洁度 轮廓仪 化学机械平面化 雷亚克夫 电火花加工 激光器 润滑油 润湿
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092401362...
DOI
10.1016/j.jmatprotec.2026.119498 doi
其它 期刊：Journal of Materials Processing Technology
作者：Qi-Tian Yu; Jia-Hao Sun; Zhi-Yun Yu; Zhuo-Hao Dai; Yu-Lun Yang; et al
出版日期：2026-11-01
求助人
逸刀刀 在 2026-11-15 20:11:28 发布自湖南，悬赏 10 积分
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  • 6小时前

    逸刀刀 逸刀刀 Lv1 求助人 发起了本次求助

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