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 Structure and Conductive Properties of TiNx Films Deposited by Radio Frequency Magnetron Sputtering 相关领域
材料科学
溅射沉积
电阻率和电导率
X射线光电子能谱
分析化学（期刊）
溅射
氮气
化学计量学
薄膜
晶格常数
大气温度范围
腔磁控管
钛
退火（玻璃）
电子迁移率
电导率
衍射
导电体
金属
杂质
空位缺陷
散射
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期刊：Thin Solid Films 作者：Jia-Hao Ren; Bin Zhang; Meng-Qi Liu; Yu-Dao Wei; Xiu-Wen Yan; et al 出版日期：2026-10-01 |
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